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상품구매정보

Ultic Armor, Fluoritz-TR, etc.



AC4640

제품명칭 내용 용도
아마크리스탈 오링 배합제를 사용하지 않아 매우 순결성이 우수합니다. 또한 금속에 대한 비점착성, 내플라즈마성이 뛰어납니다. 실리콘 단결정제조장치, 에비터키셜장치, 전자빔노광장치, 플라즈마관련장치, 이온주입장치, 지공증착장치, 스퍼터링장치, 세정장치 등

UA4640

제품명칭 내용 용도
알틱아마 순결성, 내플라즈마성, 내열성, 금속에 대한 비점착성이 우수합니다. 반도체 액정관련 기기의 드라이에칭 아싱장치, CVD장치

DC4640

제품명칭 내용 용도
DC156 종래의 불소고무보다도 내라디칼성에 우수한 고정부위에 알맞은 씰재입니다. 반도체 액정관련 기기의 드라이에칭 아싱장치, CVD장치

DS4640

제품명칭 내용 용도
DS403 퍼프로엘라스토머의 약점인 크랙발생을 억제한 내라디칼제에 뛰어난 씰재입니다. 반도체·액정관련기기의 드라이엣칭·아싱장치내, CVD장치내의 높은 내라디칼성이 요구되는 개소에 사용합니다.

VPTR4640

제품명칭 내용 용도
플로리츠 TR 최고의 내라디칼성을 가지고 있으면서 순수성, 저비틀림특성, 내열성도 우수합니다. 반도체·액정관련기기의 드라이엣칭·아싱장치내, CVD장치내의 높은 내라디칼성이 요구되는 개소에 사용합니다.
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